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平板顯示 - 氣體過濾的解決方案

平板顯示器市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈，技術(shù)多樣。針對(duì)于此，制造商致力于開發(fā)更高分辨率的顯示器、新的制造技術(shù)和更具成本效益的生產(chǎn)工藝。涉及到環(huán)境空氣，工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。高等級(jí)制程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關(guān)鍵工藝步驟中，大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高，所以需要的送風(fēng)量和循環(huán)風(fēng)量很大，來提高空氣潔凈度，從而控制產(chǎn)品質(zhì)量。