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過濾應(yīng)用
半導(dǎo)體
半導(dǎo)體
半導(dǎo)體的解決方案
高精密的生產(chǎn)設(shè)備和產(chǎn)品工藝往往要求較高潔凈度的空氣環(huán)境和高純度的水來保證設(shè)備高效穩(wěn)定的運(yùn)行及產(chǎn)品的合格率，微電子工業(yè)正是集中各類先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)的突出代表。
相關(guān)產(chǎn)品
高世代線濕制程用超高流量過濾濾芯
濾芯適用于高世代線液晶面板生產(chǎn)制造工藝，主要應(yīng)用在高流量要求的工藝點(diǎn)，濾芯能夠達(dá)到超過200L/min的流量要求，精致的外觀結(jié)構(gòu)能夠充分滿足設(shè)備對空間的要求，2m2以上的濾膜面積不僅具備高流量的性能，也具備高納污量的性能，能夠減少設(shè)備在使用過程中因更換濾芯而造成的設(shè)備停機(jī)次數(shù)。濾芯有多種膜材與多種精度可選。
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電子制程水過濾濾芯
電子制程水過濾濾芯采用親水性PES膜材，其非對稱的膜結(jié)構(gòu)使濾芯在保證過濾效率的同時(shí)，大大延長了濾芯的使用壽命，有效節(jié)省了系統(tǒng)的過濾成本。 適合弱酸/堿和超純水的過濾。
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60T/H超大流量濾芯
60T/H超大流量濾芯是一款大直徑，無中心桿，單開口，并且具有獨(dú)特內(nèi)進(jìn)外出流向設(shè)計(jì)的濾芯。超大流量減少了濾芯和過濾器的使用量?？蛇x用多種濾膜材質(zhì)以適應(yīng)不同應(yīng)用要求。
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低析出超高精度終端濾芯
低析出超高精度終端濾芯采用親水性PES膜材，專為超純水終端過濾設(shè)計(jì)，具有超低的離子析出，極快電阻率回復(fù)能力，大大減少在線沖洗時(shí)間。最高達(dá)到0.02μm的過濾精度，確保了終端超純水出水水質(zhì)。
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光刻膠用終端絕對過濾濾芯
光刻膠用終端絕對過濾濾芯專為過濾光刻膠設(shè)計(jì)，采用高流速、高精度的PTFE或尼龍濾膜，結(jié)合低析出的HDPE骨架，溶出極低，適用于光刻膠的終端過濾，可選多種過濾精度：可選0.02μm-10μm 的多種過濾精度，滿足不同過濾需求，可以根據(jù)應(yīng)用和客戶需求進(jìn)行專項(xiàng)定制。
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拋光液深層過濾濾芯
拋光液深層過濾濾芯利用獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì)，能夠?qū)MP的slurry精準(zhǔn)過濾，高效攔截大顆粒，放行有效顆粒。由外到內(nèi)的梯度結(jié)構(gòu)，增加了納污空間，延長濾芯使用壽命。
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超高納污量過濾濾芯
超高納污量過濾濾芯采用多層納米纖維材料，在合理的梯度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)下，具備高納污能力。由粗到細(xì)的漸變孔徑多級截留的特性，使濾芯具有更強(qiáng)的納污能力，能夠有效改善表面快速堵塞問題，大幅度延長了濾芯的使用壽命。過濾精度：0.5-90μm的精度范圍，能夠滿足各種不同過濾精度的要求，適用范圍廣非常適用于高懸浮顆粒、膠體類物質(zhì)、高粘度液體的過濾。
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FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組
通過與高效/超高效板式過濾器配合從循環(huán)空氣中去除有害顆粒，為半導(dǎo)體和平板顯示行業(yè)的潔凈室和實(shí)驗(yàn)室提供凈化空氣。與潔凈室送風(fēng)天花系統(tǒng)不同，F(xiàn)FU可產(chǎn)生正壓，從而降低潛在天花旁通泄露的風(fēng)險(xiǎn)。
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化學(xué)過濾圓筒
濾料裝載量多、接觸面積大、高效率、阻力低等優(yōu)點(diǎn)。圓筒式化學(xué)過濾器由多個(gè)單獨(dú)的金屬圓筒組成并安裝固定至一個(gè)金屬框架上，圓筒上設(shè)計(jì)的凸扣與框架上的孔洞能較好地結(jié)合，保障密封緊密。
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4V型無隔板化學(xué)過濾器
可選用不同類型的濾料，對外界環(huán)境進(jìn)入潔凈室內(nèi)空氣所含的有機(jī)污染氣體、酸性污染氣體、堿性污染氣體有很好的過濾性能，初始效率可達(dá)到90%以上。
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箱式化學(xué)過濾器
可選用不同類型的濾料，對外界環(huán)境進(jìn)入潔凈室內(nèi)空氣所含的有機(jī)污染氣體、酸性污染氣體、堿性污染氣體有很好的過濾性能，初始效率可達(dá)到90%以上。
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高效/超高效過濾器
風(fēng)量大阻力小，重量輕體積小，超高效率壽命長，密封性強(qiáng)，無塵室生產(chǎn)全品出廠檢測。
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亞高效/高效過濾器
特有V型結(jié)構(gòu)降低結(jié)構(gòu)阻力，過濾面積大，風(fēng)量大，效率高，密封技術(shù)好，無塵室生產(chǎn)全品出廠檢測，可承受大風(fēng)量，密封技術(shù)好，壽命長。
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中效袋式過濾器
風(fēng)量大阻力小，壽命長，容塵量高， 出廠檢測，性能穩(wěn)定，阻燃性能好，超聲波壓袋。
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初效板式過濾器
過濾面積大，容塵量高，壽命長，可清洗，不易變形，護(hù)網(wǎng)做過防銹處理美觀耐用，重量輕安裝方便，出廠檢測。
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