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Air filtration

高世代線濕制程用超高流量過濾濾芯

濾芯適用于高世代線液晶面板生產(chǎn)制造工藝，主要應(yīng)用在高流量要求的工藝點(diǎn)，濾芯能夠達(dá)到超過200L/min的流量要求，精致的外觀結(jié)構(gòu)能夠充分滿足設(shè)備對(duì)空間的要求，2m2以上的濾膜面積不僅具備高流量的性能，也具備高納污量的性能，能夠減少設(shè)備在使用過程中因更換濾芯而造成的設(shè)備停機(jī)次數(shù)。濾芯有多種膜材與多種精度可選。

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電子制程水過濾濾芯

電子制程水過濾濾芯采用親水性PES膜材，其非對(duì)稱的膜結(jié)構(gòu)使濾芯在保證過濾效率的同時(shí)，大大延長了濾芯的使用壽命，有效節(jié)省了系統(tǒng)的過濾成本。 適合弱酸/堿和超純水的過濾。

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60T/H超大流量濾芯

60T/H超大流量濾芯是一款大直徑，無中心桿，單開口，并且具有獨(dú)特內(nèi)進(jìn)外出流向設(shè)計(jì)的濾芯。超大流量減少了濾芯和過濾器的使用量?？蛇x用多種濾膜材質(zhì)以適應(yīng)不同應(yīng)用要求。

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低析出超高精度終端濾芯

低析出超高精度終端濾芯采用親水性PES膜材，專為超純水終端過濾設(shè)計(jì)，具有超低的離子析出，極快電阻率回復(fù)能力，大大減少在線沖洗時(shí)間。最高達(dá)到0.02μm的過濾精度，確保了終端超純水出水水質(zhì)。

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光刻膠用終端絕對(duì)過濾濾芯

光刻膠用終端絕對(duì)過濾濾芯專為過濾光刻膠設(shè)計(jì)，采用高流速、高精度的PTFE或尼龍濾膜，結(jié)合低析出的HDPE骨架，溶出極低，適用于光刻膠的終端過濾，可選多種過濾精度：可選0.02μm-10μm 的多種過濾精度，滿足不同過濾需求，可以根據(jù)應(yīng)用和客戶需求進(jìn)行專項(xiàng)定制。

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拋光液深層過濾濾芯

拋光液深層過濾濾芯利用獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì)，能夠?qū)MP的slurry精準(zhǔn)過濾，高效攔截大顆粒，放行有效顆粒。由外到內(nèi)的梯度結(jié)構(gòu)，增加了納污空間，延長濾芯使用壽命。

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超高納污量過濾濾芯

超高納污量過濾濾芯采用多層納米纖維材料，在合理的梯度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)下，具備高納污能力。由粗到細(xì)的漸變孔徑多級(jí)截留的特性，使濾芯具有更強(qiáng)的納污能力，能夠有效改善表面快速堵塞問題，大幅度延長了濾芯的使用壽命。過濾精度：0.5-90μm的精度范圍，能夠滿足各種不同過濾精度的要求，適用范圍廣非常適用于高懸浮顆粒、膠體類物質(zhì)、高粘度液體的過濾。

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FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組

通過與高效/超高效板式過濾器配合從循環(huán)空氣中去除有害顆粒，為半導(dǎo)體和平板顯示行業(yè)的潔凈室和實(shí)驗(yàn)室提供凈化空氣。與潔凈室送風(fēng)天花系統(tǒng)不同，F(xiàn)FU可產(chǎn)生正壓，從而降低潛在天花旁通泄露的風(fēng)險(xiǎn)。

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